?　概述

工業生產過程中所排放的VOCs種類多，性質差異大，在大多數情況下，生產工藝尾氣中同時含有多種類型的污染物，而不同的生產過程所排放的工藝廢氣工況條件多樣，不同行業或同一行業中不同工序所排放的尾氣工況條件差異也很大，故根據工藝選擇合理完善的VOCs廢氣治理工藝很重要。

目前己經發展了多種VOCs冶理技術，在實際應用中需要根據污染物的性質和排放特點進行選擇。

廢氣的處理方法主要有：物理法、燃燒法、化學氧化法、吸收法、生物法等，而“等離子體法“開辟了一條臭氣處理方法的新途徑。

?　廢氣治理工藝

對治理工業廢氣中大量存在的有機化合物，應用較普遍的活性炭、活性炭纖維、純硅分子篩以及催化燃燒法等，雖有一定效果，但不僅存在耗用大量吸附材料或燃料，還存在工藝落后、成本高、二次污染較嚴重等問題，特別是對于大流量、低濃度的有機廢氣，更是存在不少未能解決的問題。實際上，采用這些技術方案后，往往給政府環保部門的監管，以及產生和治理污染的企業的運行，都會帶來很大的困擾。

?　吸附脫附處理

活性炭對于某些特定VOCs因子具有良好的吸附作用，且可脫附再生，雖然存在實際運行費用較高，二次處理麻煩，效果難于隨時監控等問題，但仍在有機廢氣的傳統處理工藝上，占有重要地位。

?　催化燃燒

廢氣中VOC濃度一般均在2000mg/m3以下時，且不穩定，燃燒時需要補充消耗大量能源，這不僅增加運行成本，也與節能降耗的環境治理目標相去甚遠。采用“催化燃燒法”不僅會大大增加大氣中CO2的排放量，特別是還有部分廢氣因子（如氯甲酸苯酯，1，3-二氯丙酮粉塵等）燃燒后會產生劇毒的二惡英（國家大氣排放標準中微量即超標，控制十分嚴格）等二次污染。因此，催化燃燒的方式對于某些有機廢氣治理也并不適用。實際上，采用催化燃燒方式也會使管道工程量變得很大。

?　低溫等離子體處理

等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。 適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。 占地面積小，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。不足之處是一次性投資稍高。

?　典型工藝流程